化学气相沉积（CAV） 法， 又称热解法、 干法或燃烧法。 其原料一般为四氯化硅、 氧气（或空气） 和氢气， 高温下反应而成。 反应式为：
SiCl4＋2H2＋O2—>SiO2＋4HCl
空气和氢气分别经过加压、 分离、 冷却脱水、 硅胶干燥、 除尘过滤后送入合成水解炉。将四氯化硅原料送至精馏塔精馏后， 在蒸发器中加热蒸发， 并以干燥、 过滤后的空气为载体， 送至合成水解炉。 四氯化硅在高温下气化（火焰温度 1000~1800℃） 后， 与一定量的氢和氧（或空气） 在 1800℃左右的高温下进行气相水解； 此时生成的气相二氧化硅颗粒极细， 与气体形成气溶胶， 不易捕集， 故使其先在聚集器中聚集成较大颗粒， 然后经旋风分离器收集， 再送入脱酸炉， 用含氮空气吹洗气相二氧化硅至 PH 值为 4～6 即为成品。（来自网络）
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